设备启动前进行下列检查和调试：

1、检查设备接地是否可靠，电气部分是否正确。

2、取下电机上弹性联轴器，启动电机，检查电机运转方向与真空泵壳体旋转箭头方向是否一至，然后再装上联轴器。

3、检查真空泵运转方向与箭头方向是否一致（详见真空泵使用说明书）。

4、检查有关部件的连接螺钉是否拧紧，特别是真空系统的连接螺钉。

5、检查各转动机构的传动是否灵活，有无卡滞。

6、打开蒸发室，对蒸发室内壁和内部零件进行清洁，检查蒸发室内各电极接线是否正确。尤其注意电阻蒸发电极是否与防污板相碰。

7、对蒸发室试抽真空，检查是否能达到应达到的真空指标。

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